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J-GLOBAL ID：200903038282983420

光加熱装置

Inventor： 水川 洋一 ,  谷野 賢二 ,  上嶋 由紀夫
Applicant, Patent owner： ウシオ電機株式会社
Agent (1)： 武 顕次郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000014581
Publication number (International publication number)：2001210604
Application date： Jan. 24, 2000
Publication date： Aug. 03, 2001
Summary：

【要約】【課題】 光加熱装置のランプ収納スペースを十分確保できない場合であっても、被処理物を均一に加熱することのできる光加熱装置を提供すること。【解決手段】 白熱ランプからの光を被処理物に照射し加熱する光加熱装置において、複数の白熱ランプを、発光部と非発光部からなる白熱ランプと、発光部からなる白熱ランプで構成し、前記複数の白熱ランプを、管軸が平行に配列された白熱ランプからなる第1ランプユニット1と、第1ランプユニットと接触乃至離間して配置され、管軸が平行であると共に第1ランプユニットの白熱ランプの管軸と交差するように配列された白熱ランプからなる第2ランプユニット2とで構成し、第1,第2のランプユニットを被処理物6を同方向から照射するように配置し、第1,第2のランプユニットの白熱ランプの発光部と第1,第2のランプユニットの白熱ランプの非発光部とを交差するように配置する。

Claim (excerpt)：

複数の白熱ランプから放射される光を被処理物に照射して被処理物を加熱する光加熱装置において、前記複数の各白熱ランプを、管型封体の内部に管軸に沿って発光部と非発光部からなるフィラメント構造の白熱ランプと、管型封体の内部に管軸に沿って発光部からなるフィラメント構造の白熱ランプで構成すると共に、前記複数の白熱ランプを、同一の平面上にあって、それぞれの白熱ランプの管軸が互いに平行となるように配列された複数の白熱ランプからなる第1のランプユニットと、前記第1のランプユニットと接触乃至離間して配置され、同一の平面上にあって、それぞれの白熱ランプの管軸が互いに平行であると共に前記第1のランプユニットの白熱ランプの管軸と交差するように配列された複数の白熱ランプからなる第2のランプユニットとから構成し、さらに前記第1および第2のランプユニットを前記被処理物を同方向から照射するように配置すると共に、前記第1および第2のランプユニットの白熱ランプの発光部と前記第1および第2のランプユニットの白熱ランプの非発光部とを交差するように配置したことを特徴とする光加熱装置。

FI (2)：

H01L 21/26 G ,  H01L 21/26 J