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J-GLOBAL ID：200903038296974962

リン酸ジルコニル系複合材料及びそれを用いた精密機器

Inventor： 建野 範昭 ,  田中 貴広
Applicant, Patent owner： 東陶機器株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998198025
Publication number (International publication number)：2000007428
Application date： Jun. 29, 1998
Publication date： Jan. 11, 2000
Summary：

【要約】【課題】 比重が小さくヤング率の高い、さらに経時変化しない、低熱膨張・高剛性セラミック材料を提供する。【解決手段】 主たる結晶相としてリン酸ジルコニル、第二結晶相として常温における熱膨張率がプラスでヤング率が150GPa以上のセラミックを1種以上含むセラミック複合材料を作製し、第二結晶相の添加量を常温における熱膨張率が、±0.5×10-6/°C以下になるように添加したリン酸ジルコニル系複合材料を用いると、経時変化が無く、ヤング率が高いため温度変化や部材の大型化による寸法変化が少ないため、ステッパー等の半導体及び液晶製造装置などの精密機器の精度を高めることが出来る。

Claim (excerpt)：

主たる結晶相としてリン酸ジルコニル、第二結晶相として常温における熱膨張率がプラスでヤング率が150GPa以上のセラミック相を1種以上含み、リン酸ジルコニルと第2結晶相の比率を調整し、常温における熱膨張率が、±0.5×10-6/°C以下であることを特徴とするリン酸ジルコニル系複合材料。

F-Term (16)：

4G030AA07 ,  4G030AA17 ,  4G030AA20 ,  4G030AA32 ,  4G030AA37 ,  4G030AA41 ,  4G030AA45 ,  4G030AA47 ,  4G030AA49 ,  4G030BA18 ,  4G030BA24 ,  4G030CA01 ,  4G030GA14 ,  4G030GA27 ,  4G030GA29 ,  4G030PA25