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J-GLOBAL ID：200903038297509023

外観検査装置

Inventor： 上田 俊一
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 則近 憲佑
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994209535
Publication number (International publication number)：1996078489
Application date： Sep. 02, 1994
Publication date： Mar. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、複数のリードを有する被検査物を高速・高精度に検査することが可能である外観検査装置を提供する。【構成】 CCDラインセンサ1が出力する輝度アナログ信号をA/D変換器2により画像値デジタル信号に変換し、この変換されたデジタル信号を1枚のリードフレームの多値画像データとして多値画像メモリ3に記憶する。このメモリ3に記憶された多値画像データに対し、2値画像メモリ4にて2値画像データとして記憶する。この記憶された2値画像データに対し、ショートを検出したい所望のエリアを仮想切出し回路5にて切出す。そして、この切出された2値画像に基づいてラベリング回路6及びショート判定回路7によりショート検出を行なう。

Claim (excerpt)：

複数のリードを持った被検査物の画像を入力する画像入力手段と、この画像入力手段により入力された被検査物の形状を示す画像を多値画像データとして記憶する画像記憶手段と、この画像記憶手段に記憶された多値画像データに対し、所定の閾値で2値化した画像を記憶する2値画像記憶手段と、この2値画像記憶手段に記憶された2値画像に対して所定の仮想枠を設け、この仮想枠内において閉曲面を有するエリアを抽出するラベリング手段とを有することを特徴とする外観検査装置。

IPC (3)：

H01L 21/66 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00

FI (2)：

G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/70 330