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J-GLOBAL ID:200903038304772363

自動焦点検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000110974
Publication number (International publication number):2001296467
Application date: Apr. 12, 2000
Publication date: Oct. 26, 2001
Summary:
【要約】【課題】 操作性を高めることができる自動焦点検出装置を提供する。【解決手段】 標本2を載置したステージ3に対峙して対物レンズ9を配置し、対物レンズ9を介して標本2に対する合焦状態を検出し、この結果に応じて対物レンズ9とステージ3の相対距離を変化させるステージ駆動装置15を制御して対物レンズ9を自動的に合焦させるAFユニット10を設けるとともに、このAFユニット10での合焦位置を所定のオフセット範囲で変化させる光学系を有する合焦位置オフセット機能を有し、合焦位置の変化がオフセット範囲を超えるとAFユニット10でのAFを解除する。
Claim (excerpt):
観察体を載置したステージと、前記ステージに載置した観察体に対峙して配置された対物レンズと、これらステージと対物レンズの少なくとも一方を駆動する駆動手段と、前記対物レンズを介して前記観察体に対する合焦状態を検出し、この検出結果に応じて前記駆動手段を制御して前記対物レンズを自動的に合焦させる自動合焦手段と、前記自動合焦手段での合焦位置を所定のオフセット範囲で変化可能にする合焦位置オフセット手段とを具備し、前記合焦位置オフセット手段による合焦位置の変化が前記オフセット範囲を超えると前記自動合焦手段の制御を解除することを特徴とする自動焦点検出装置。
IPC (2):
G02B 7/28 ,  G02B 21/00
FI (3):
G02B 21/00 ,  G02B 7/11 N ,  G02B 7/11 J
F-Term (11):
2H051AA11 ,  2H051BA24 ,  2H051CB19 ,  2H051CC03 ,  2H051DC14 ,  2H052AA05 ,  2H052AC04 ,  2H052AC28 ,  2H052AD09 ,  2H052AD19 ,  2H052AD31

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