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J-GLOBAL ID：200903038310051104
光導波路用ガラス膜の形成方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松本 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993079288
Publication number (International publication number)：1994289243
Application date： Apr. 06, 1993
Publication date： Oct. 18, 1994
Summary：
【要約】【目的】ガラス導波路の光電送部品であるコア導波路を用いて、その表面に高屈折率のガラス薄膜層を有する光導波路用ガラス膜を作成する方法を提供する。【構成】真空に保たれた低温プラズマ雰囲気中で、表面が低屈折率ガラス膜で覆われた基板に、好ましくは基板を400°C以下に保って、屈折率制御用ドーパントを含んだ、有機オキシランの蒸気と酸素を含むガスを吹きつけて、基板のガラス膜表面に該ガラス膜よりも屈折率の高い屈折率制御用ドーパントを含んだ、クラックの発生が見られないガラス薄膜を形成した後、熱処理する操作を少なくとも1回行い、所期の厚さのガラス薄膜を形成する光導波路用ガラス膜の形成方法。
Claim (excerpt)：
真空に保たれた低温プラズマ雰囲気中で、表面が低屈折率ガラス膜で覆われた基板に、屈折率制御用ドーパントを含んだ有機オキシシランの蒸気と酸素を含むガスを吹きつけて、該基板のガラス膜表面に該ガラス膜よりも屈折率の高い屈折率制御用ドーパントを含んだ、クラックの発生が見られないガラス薄膜を形成した後熱処理する操作を少なくとも1回行い、所期の厚さのガラス薄膜を形成することを特徴とする光導波路用ガラス膜の形成方法。
IPC (2)：
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