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J-GLOBAL ID：200903038311659122

静電アクチユエータ

Inventor： 樋口 俊郎 ,  近藤 雅俊
Applicant, Patent owner： 樋口 俊郎 ,  住友重機械工業株式会社
Agent (1)： 牧野 剛博 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991271956
Publication number (International publication number)：1993091761
Application date： Sep. 24, 1991
Publication date： Apr. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 一定の駆動力を得るための印加電圧を下げて、安全性及び実用性を高める。【構成】 固定子1を、フィルム状の絶縁体からなるベース層3と、その上に配列された複数の帯状電極4と、その上に形成された比誘電率10以上のフィルム状の誘電体層5とで構成する。固定子1の上に、フィルム状の移動子10を載置する。そして、帯状電極4への印加電圧の切り換えにより、固定子1と移動子10との間に静電気力を発生させ、それにより移動子10を固定子1から浮上させて帯状電極4の配列方向に沿って移動させるように構成する。

Claim (excerpt)：

絶縁体内に複数の帯状電極を配列してなるフィルム状の固定子と、前記固定子上に載置されるフィルム状の移動子と、前記帯状電極への印加電圧の切り換えにより固定子と移動子との間に静電気力を発生させ、それにより前記移動子を固定子から浮上させて帯状電極の配列方向に沿って移動させる駆動制御回路と、を具備した静電アクチュエータにおいて、前記固定子が、フィルム状の絶縁体からなるベース層の上に前記帯状電極を形成し、その上に比誘電率10以上のフィルム状の誘電体層を形成してなるものであることを特徴とする静電アクチュエータ。