Pat

J-GLOBAL ID：200903038315596940

ペリクル

Inventor： 鈴木 樹 ,  清田 徹
Applicant, Patent owner： 東ソー株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992105255
Publication number (International publication number)：1993281709
Application date： Apr. 01, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 粘着剤をペリクル枠に塗布したペリクルをマスクから剥離する際に、粘着剤層がペリクル枠から剥離せず、粘着剤層がマスクに残らないため、マスクを粘着剤で汚染したり、マスクを破損したりすることのないペリクルを提供する。【構成】 ペリクル枠上に粘着剤が付着されているペリクルにおいて、粘着剤が付着される部分のペリクル枠表面に凹凸が形成されているペリクル。

Claim (excerpt)：

ペリクル枠の片面にペリクル膜が貼付され、その反対面のペリクル枠上に粘着剤が付着されているペリクルにおいて、粘着剤が付着される部分のペリクル枠表面に凹凸が形成されていることを特徴とするペリクル。