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J-GLOBAL ID：200903038323917100

熱陰極構体用スリーブの製造方法

Inventor： 田口 貞憲 ,  斎藤 駿次
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995088250
Publication number (International publication number)：1996287824
Application date： Apr. 13, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】 均一で、高温度で黒色度が変化せず、金属材料が蒸発しない耐熱性、熱吸収性良好な熱吸収層5を得る熱陰極構体用スリーブの製造方法を提供する。【構成】 モリブデン、ニッケル、鉄、タングステン群の中の1つの金属、または、この群の中の少なくとも1つの金属を含む合金製の薄板から深絞り加工により有底状スリーブ1を形成し、このスリーブ1の内面に、アルミニウムまたはアルミニウム合金を0.5μm以上の厚さに被覆し、このスリーブ1を真空中あるいは非酸化性雰囲気中で500〜650°Cの第1次熱処理、750〜1100°Cの第2次熱処理を各0.5〜3.0時間行い、このスリーブ1の内面にアルミニウムとスリーブ1の構成金属との金属間化合物を形成し、このスリーブ1を湿潤水素雰囲気中で950〜1200°Cで最終熱処理し、このスリーブ1の内面に耐熱性及び熱吸収性を有する黒色熱吸収層5を形成する。

Claim (excerpt)：

有底状スリーブの有底部外側に陰極ペレットが装着され、スリーブの内部にヒータが配置される熱陰極構体用スリーブにおいて、下記の各工程を経て製造されることを特徴とする熱陰極構体用スリーブの製造方法。1.モリブデン(Mo)、ニッケル(Ni)、鉄(Fe)、タングステン(W)からなる群から選ばれた1つの金属、または、この群から選ばれた少なくとも1つの金属を含んだ合金からなる薄板を、深絞り加工によって有底状スリーブを形成する工程、2.前記工程1で得られたスリーブの内面に、アルミニウム(Al)またはアルミニウム(Al)合金を0.5μm以上の厚さで被覆する工程、3.前記工程2で得られた有底状スリーブを真空中あるいは非酸化性雰囲気中において500乃至650°Cの第1次熱処理を、それに続いて、750乃至1100°Cの第2次熱処理を、それぞれ0.5乃至3.0時間行って、前記有底状スリーブの内面にアルミニウム(Al)と有底状スリーブ構成金属との金属間化合物を形成する工程、4.前記工程3で得られた有底状スリーブを湿潤水素(H2 )雰囲気中において950乃至1200°Cで最終熱処理し、前記有底状スリーブの内面に耐熱性及び熱吸収性を有する黒色熱吸収層を形成する工程。