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J-GLOBAL ID：200903038348364360
光学的検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992119583
Publication number (International publication number)：1993288678
Application date： Apr. 14, 1992
Publication date： Nov. 02, 1993
Summary：
【要約】【構成】 検査対象物2に対して光源1からの光を照射し、当該光源1からの光が上記検査対象物2で反射若しくは透過された光を受光部(検出部3の受光手段)で受光することによって当該検査対象物2の検査を行う光学的検査装置において、受光部(受光部3の受光手段)の前面に調光フィルタ34を設けると共に、光源1の光量を増加する。【効果】 外乱光等の対ノイズ性能が向上する。
Claim (excerpt)：
検査対象物に対して光源からの光を照射し、当該光源からの光が上記検査対象物で反射若しくは透過された光を受光部で受光することによって当該検査対象物の検査を行う光学的検査装置において、上記受光部の前面に調光フィルタを設けると共に、上記光源の光量を増加することを特徴とする光学的検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/47
, G01B 11/30
, G06F 15/64 325
