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J-GLOBAL ID：200903038363503473

金属含有ポリマーとその製造法

Inventor： 小林 四郎
Applicant, Patent owner： 小林 四郎
Agent (1)： 西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992052902
Publication number (International publication number)：1993255511
Application date： Mar. 11, 1992
Publication date： Oct. 05, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 レジスト材料、エレクトロニクス材料、接着剤、傾斜機能材料等として有用な、金属含有ポリマーの製造。【構成】 一般式(1)(式中のMは第14族金属原子、Xは、N(SiR3 R4 R5 )2またはN(R6 )SiR3 R4 R5 ,R1 およびR2 は、各々、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基またはアリール基、R3 ,R4 ,R5 およびR6 は、各々、置換基を有してもよいアルキル基またはアリール基、nは2〜2000の整数、mは1〜100の数を示す。)で表わされる金属含有ポリマー。

Claim (excerpt)：

一般式(1)【化1】(式中のMは第14族金属原子、Xは、N(SiR3 R4 R5 )2またはN(R6 )SiR3 R4 R5 、R1 およびR2 は、各々、水素原子、置換基を有してもよいアルキル基またはアリール基、R3 ,R4 ,R5 およびR6 は、各々、置換基を有してもよいアルキル基またはアリール基、nは2〜2000の整数、mは1〜100の数を示す。)で表わされる金属含有ポリマー。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特公昭57-058536