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J-GLOBAL ID：200903038438187025

斑検出方法および装置

Inventor： 板垣 忠司
Applicant, Patent owner： 東芝エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 三好 秀和 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993109280
Publication number (International publication number)：1994323954
Application date： May. 11, 1993
Publication date： Nov. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】 被検査物の検出方向に依存性がなく、高精度に斑を検出することができる斑検出装置を提供する。【構成】 被検査物を撮像して二次元に整列配置された複数の画素毎の輝度情報を得るエリアセンサ3と、エリアセンサ3によって得られた画素毎の輝度情報を縦横複数の画素行列からなる格子に切り分け、その各格子内の各画素の輝度情報を加算して格子毎の輝度加算値を求める輝度情報加算部5と、前記各格子を中心にした3行3列の行列内の水平方向の輝度加算値の変化量と、垂直方向の輝度加算値の変化量とを求める変化量算出部7と、前記垂直方向の変化量と、水平方向の変化量が所定量より多い場合斑と検出する検出部9とから構成される。

Claim (excerpt)：

被検査物の一部分が周囲と比較して境界が不鮮明でかつ輝度差が微少な斑を検出する斑検出方法において、前記被検査物を撮像して二次元に整列配置された複数の画素毎の輝度情報をセンサで得る工程と、前記センサによって得られた画素毎の輝度情報を縦横それぞれ所定数の画素行列からなる格子に切り分け、その各格子内の各画素の輝度情報を加算して各格子毎の輝度加算値を求める輝度情報加算工程と、各格子間での輝度加算値の変化量を水平方向および垂直方向のそれぞれについて求める変化量算出工程と、前記水平方向の変化量と垂直方向の変化量が所定より多い場合、斑と検出する検出工程と、から成ることを特徴とする斑検出方法。

IPC (2)：

G01M 11/00 ,  G02B 5/20 101