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J-GLOBAL ID：200903038445433694

マイクロ波強化スパッタリング装置

Inventor： ルドルフ ラッツ ,  ローランド ゲシェ
Applicant, Patent owner： レイボルト アクチーエンゲゼルシャフト
Agent (1)： 鈴木 弘男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993237343
Publication number (International publication number)：1994220631
Application date： Aug. 30, 1993
Publication date： Aug. 09, 1994
Summary：

【要約】【目的】 マイクロ波強化スパッタリング装置を提供することである。【構成】 本スパッタリング装置においては、ハウジング内にマグネトロン陰極が配置され、またターゲットが下地と対向している。ターゲットの両側にはそれぞれ、空洞共振器に結合されている導波管からなるマイクロ波入口が設けられている。導波管は、マイクロ波がターゲット表面に平行に伸びるように実現されている。ターゲットの周囲には第1の磁石コイルが巻かれていて第1の磁界を生成し、導波管のL字形端の周囲には第2の磁石コイルが巻かれている。

Claim (excerpt)：

真空室と、この真空室内にあって、電源に接続されている電極に接続されているターゲットと、磁界が前記ターゲットから出て再びその中へ入るようにする磁石装置と、前記ターゲットの領域内に案内されるマイクロ波とを具備し、電磁石を前記ターゲットの周囲に配置したことを特徴とするマイクロ波強化スパッタリング装置。