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J-GLOBAL ID:200903038445757236

反射防止膜及び光学部品

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (5): 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004156103
Publication number (International publication number):2005338366
Application date: May. 26, 2004
Publication date: Dec. 08, 2005
Summary:
【課題】 可視域(400〜700nm)から赤外域(700〜1000nm)に亘る広帯域で、高い反射防止性能を有すること。【解決手段】光学基板2側から数えて第1、3、5及び7層に、屈折率が2.5以上3.1以下の高屈折率膜を成膜し、光学基板2側から数えて第2、4、6及び8層に、屈折率が1.5以上1.8以下の中間屈折率膜と、屈折率が1.3以上1.5未満の低屈折率膜との少なくとも一方を成膜したものであり、前記各層の光学的膜厚ndが、設計波長λに対して、第1層は(0.05〜0.25)×λ/4、第2層は(0.26〜1.1)×λ/4、第3層は(0.39〜0.68)×λ/4、第4層は(0.15〜0.40)×λ/4、第5層は(2.57〜2.76)×λ/4、第6層は(0.29〜0.47)×λ/4、第7層は(0.25〜0.42)×λ/4、第8層は(1.24〜1.28)×λ/4とした反射防止膜を提供する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
複数の層を有して光学基板上に設けられる反射防止膜であって、 前記光学基板側から数えて第1、3、5及び7層に、屈折率が2.5以上3.1以下の高屈折率膜を成膜し、 前記光学基板側から数えて第2、4、6及び8層に、屈折率が1.5以上1.8以下の中間屈折率膜と、屈折率が1.3以上1.5未満の低屈折率膜との少なくとも一方を成膜したものであり、 前記各層の光学的膜厚nd(nは薄膜の屈折率、dは物理的膜厚)が、設計波長λに対して、第1層は(0.05〜0.25)×λ/4、第2層は(0.26〜1.1)×λ/4、第3層は(0.39〜0.68)×λ/4、第4層は(0.15〜0.40)×λ/4、第5層は(2.57〜2.76)×λ/4、第6層は(0.29〜0.47)×λ/4、第7層は(0.25〜0.42)×λ/4、第8層は(1.24〜1.28)×λ/4としたことを特徴とする反射防止膜。
IPC (1):
G02B1/11
FI (1):
G02B1/10 A
F-Term (6):
2K009AA09 ,  2K009BB02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009DD03 ,  2K009DD07
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • 特許第2711697号公報

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