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J-GLOBAL ID：200903038455554007

感光性組成物

Inventor： 上村 次郎 ,  佐々木 充 ,  中井 英之 ,  秋山 健夫 ,  松村 智之
Applicant, Patent owner： 三菱化成株式会社 ,  コニカ株式会社
Agent (1)： 長谷川 一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991260869
Publication number (International publication number)：1993100421
Application date： Oct. 08, 1991
Publication date： Apr. 23, 1993
Summary：

【要約】【構成】感光性組成物で、少なくともキノンジアジドスルホン酸エステル、アルカリ可溶性樹脂、露光によって酸を生成する化合物、o-ナフトキノンジアジド-6-スルホン酸ハロゲンド、及び、有機染料を含有する。【効果】優れた露光可視画性、かつ、優れた保存安定性を有する。

Claim (excerpt)：

少なくとも(a)キノンジアジドスルホン酸エステル(b)アルカリ可溶性樹脂(c)露光によって酸を生成する化合物(d)o-ナフトキノンジアジド-6-スルホン酸ハロゲニドおよび(e)有機染料を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (3)：

G03F 7/022 ,  G03F 7/004 507 ,  H01L 21/027