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J-GLOBAL ID：200903038525323946
光学歪の測定方法および形状の測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994293403
Publication number (International publication number)：1996152403
Application date： Nov. 28, 1994
Publication date： Jun. 11, 1996
Summary：
【要約】【目的】短時間で広い範囲の光学歪を測定評価する。【構成】コントラスト既知のパターンを持った散乱光源1よりの光を、透光性被測定物2中を透過させ、あるいは被測定物で反射させて受光装置3で受光し、その信号より被測定物2の光学歪あるいは形状を測定、検査する方法であって、光源1の1つのパターンに相当する検出領域ごとのデータ群より評価指標を計算する。
Claim (excerpt)：
光源よりの光を、透光性被測定物中を透過させて受光装置で受光し、その信号より被測定物の光学歪を測定する方法であって、前記光源はコントラスト既知のパターンを持った散乱光源であり、この光源の1つのパターンに相当する検出領域ごとのデータ群より評価指標を計算することを特徴とする光学歪の測定方法。
IPC (2)：
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