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J-GLOBAL ID：200903038528475674
無端環状導波管を有するマイクロ波導入装置及び 該装置を備えたプラズマ処理装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
荻上 豊規
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992319223
Publication number (International publication number)：1993345982
Application date： Nov. 05, 1992
Publication date： Dec. 27, 1993
Summary：
【要約】【目的】マイクロ波の供給対象である真空容器周辺からマイクロ波を均一にして効率的に該真空容器へ導入することを可能にする改善されたマイクロ波導入装置及び該マイクロ波導入装置を備えたプラズマ処理装置を提供すること。【構成】複数のスロットを備えた無端環状導波管を有するマイクロ波導入装置であって、前記複数のスロットは、該環状導波管の内側に所定の間隔で穿孔されて設けられていることを特徴とするマイクロ波導入装置及び該マイクロ波導入装置を備えたプラズマ処理装置。【効果】マイクロ波を電磁波のまま真空容器内に周辺から導入できるので、均一にして効率的にマイクロ波を該真空容器内に導入することができる。
Claim (excerpt)：
複数のスロットを備えた無端環状導波管を有するマイクロ波導入装置であって、該環状導波管は、マイクロ波電源に接続するマイクロ波導入部を有し、前記複数のスロットは、該環状導波管の内側に所定の間隔で穿孔されて設けられていることを特徴とするマイクロ波導入装置。
IPC (5)：
C23C 16/50
, C23F 4/00
, H01L 21/205
, H01L 21/31
, H05H 1/48
