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J-GLOBAL ID：200903038533471385
検査対象物の表面情報検知装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 忠彦 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992039642
Publication number (International publication number)：1993240803
Application date： Feb. 26, 1992
Publication date： Sep. 21, 1993
Summary：
【要約】【目的】 本発明はレーザ光が照射する部分から発生する螢光を利用して被検査対象物の表面情報を検知する装置に関し、表面情報の正確な検知を実現することを目的とする。【構成】 レーザ光11cを被検査対象物であるバイヤホールが形成されているセラミック基板2の表面で再帰反射させて再結像させる再帰反射・結像手段31を設けると共に再結像位置36に、ピンホール部材37を設けて構成する。ピンホール部材37は、レーザ光11cの照射スポット17からの光を通過させ、照射スポット17の周りの部分からの光を遮蔽して、これによる影響を無くするように構成する。
Claim (excerpt)：
レーザ光を検査対象物に集光させてスポットとして照射させ、該スポットを走査させて、このとき該検査対象物から発生する螢光を、検知手段が上記検査対象物の表面情報として検知する構成の検査対象物の表面情報検知装置であって、上記レーザ光を上記検査対象物の表面で再帰反射させて再結像させる再帰反射結像手段(31)を設けると共に、上記の再結像される位置(36)に、ピンホール部材(37)を設け、該ピンホール部材(37)の後側に上記検知手段(20)を設けた構成としたことを特徴とする検査対象物の表面情報検知装置。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G01N 21/64
, H05K 3/00
