導電性電子フィーチャを堆積するための低粘度前駆体組成物および方法

Inventor： , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：恩田博宣 , 恩田誠
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2003534993
Publication number (International publication number)：2005537386
Application date： Oct. 04, 2002
Publication date： Dec. 08, 2005
Summary：

導電性フィーチャなどの電気フィーチャを堆積し形成するための前駆体組成物。前駆体組成物は、直接描画ツールを使用して堆積可能であるように、低粘度であることが有利である。また、前駆体組成物は、低温基板上に堆積して電気フィーチャに変換することを可能とするように変換温度が低い。特に好ましい前駆体組成物は導電性の高い銀フィーチャを形成するための銀金属を含む。別の好ましい前駆体組成物は導電性の高い銅フィーチャを形成するための銅金属を含む。

Claim (excerpt)：

1000センチポアズ以下の粘度を有する金属前駆体組成物であって、 (a)金属前駆体化合物と、 (b)乾燥金属前駆体化合物に比べて前記金属前駆体組成物の変換温度を少なくとも約25°C下げるのに十分な量の変換反応誘導剤とを備え、前記金属前駆体組成物の該変換温度が約200°C以下である金属前駆体組成物。

IPC (7)：

C23C20/04 , B05D3/02 , B05D5/12 , B41M5/00 , H01L21/28 , H01L21/288 , H01L21/3205

FI (9)：

C23C20/04 , B05D3/02 Z , B05D5/12 B , B41M5/00 A , B41M5/00 B , B41M5/00 E , H01L21/28 B , H01L21/288 Z , H01L21/88 B

F-Term (143)：

2H086BA02 , 2H086BA05 , 2H086BA19 , 2H086BA21 , 2H086BA22 , 2H086BA23 , 2H086BA52 , 2H086BA53 , 2H086BA59 , 2H086BA60 , 2H086BA61 , 2H086BA62 , 4D075AA02 , 4D075AA81 , 4D075AA82 , 4D075AA86 , 4D075AC06 , 4D075AC09 , 4D075AC23 , 4D075AC41 , 4D075AC91 , 4D075AC92 , 4D075AC96 , 4D075BB28Z , 4D075BB37Z , 4D075BB45Z , 4D075BB48Z , 4D075BB92Z , 4D075BB93Z , 4D075BB95Z , 4D075CA22 , 4D075DA04 , 4D075DA06 , 4D075DB11 , 4D075DB13 , 4D075DB18 , 4D075DB20 , 4D075DB33 , 4D075DB35 , 4D075DB36 , 4D075DB37 , 4D075DB38 , 4D075DB39 , 4D075DB43 , 4D075DB47 , 4D075DB48 , 4D075DB53 , 4D075DB61 , 4D075DC19 , 4D075DC21 , 4D075EA06 , 4D075EA14 , 4D075EB07 , 4D075EB12 , 4D075EB14 , 4D075EB22 , 4D075EB32 , 4D075EB35 , 4D075EB38 , 4D075EB39 , 4D075EB43 , 4D075EC01 , 4D075EC02 , 4D075EC07 , 4D075EC08 , 4D075EC10 , 4D075EC30 , 4D075EC35 , 4D075EC53 , 4D075EC54 , 4K022AA02 , 4K022AA12 , 4K022AA13 , 4K022AA14 , 4K022AA15 , 4K022AA18 , 4K022AA20 , 4K022AA22 , 4K022AA23 , 4K022AA36 , 4K022AA41 , 4K022AA42 , 4K022BA01 , 4K022BA02 , 4K022BA03 , 4K022BA08 , 4K022BA09 , 4K022BA10 , 4K022BA12 , 4K022BA14 , 4K022BA17 , 4K022BA18 , 4K022BA21 , 4K022BA24 , 4K022BA25 , 4K022BA31 , 4K022DA06 , 4K022DB01 , 4K022DB03 , 4K022DB04 , 4K022DB18 , 4M104AA09 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB05 , 4M104BB06 , 4M104BB07 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB14 , 4M104BB36 , 4M104DD21 , 4M104DD22 , 4M104DD51 , 4M104DD79 , 4M104DD80 , 4M104DD86 , 4M104GG02 , 4M104GG04 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG14 , 5F033GG04 , 5F033HH07 , 5F033HH08 , 5F033HH11 , 5F033HH13 , 5F033HH14 , 5F033HH18 , 5F033PP26 , 5F033QQ00 , 5F033QQ53 , 5F033QQ73 , 5F033QQ82 , 5F033QQ83 , 5F033QQ88 , 5F033WW00 , 5F033WW01 , 5F033WW02 , 5F033WW03 , 5F033WW04 , 5F033XX33 , 5F033XX34

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

はんだ付け可能な導電性ペースト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-123950 Applicant：旭化成工業株式会社
特開昭59-167906
特開昭60-195077

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