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J-GLOBAL ID：200903038563660530
超音波洗浄装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991266238
Publication number (International publication number)：1993109685
Application date： Oct. 15, 1991
Publication date： Apr. 30, 1993
Summary：
【要約】【目的】本発明は、パーティクルの発生を抑制し、洗浄液の汚染を防止して、被洗浄物に対する常に良好な超音波洗浄をなす超音波洗浄装置を提供する。【構成】被洗浄物aを浸漬する洗浄液が収容され、かつ少なくとも内壁が耐蝕性金属材からなる洗浄槽1と、この洗浄槽に洗浄液に直接接触するよう取付けられる耐蝕性金属材からなる超音波振動板7と、この超音波振動板に連結され超音波を発生して上記超音波振動板を超音波振動させ洗浄液に浸漬した上記被洗浄物を超音波洗浄する超音波振動子8とを具備し、少なくとも洗浄液が接触する上記洗浄槽の内壁面および上記超音波振動板面を電解研磨加工面としたことを特徴とする超音波洗浄装置である。
Claim (excerpt)：
被洗浄物を浸漬する洗浄液が収容され、かつ少なくとも内壁が耐蝕性金属材からなる洗浄槽と、この洗浄槽に洗浄液に直接接触するよう取付けられる耐蝕性金属材からなる超音波振動板と、この超音波振動板に連結され超音波を発生して上記超音波振動板を超音波振動させ洗浄液に浸漬した上記被洗浄物を超音波洗浄する超音波振動子とを具備し、少なくとも洗浄液が接触する上記洗浄槽の内壁面および上記超音波振動板面を電解研磨加工面としたことを特徴とする超音波洗浄装置。
IPC (3)：
H01L 21/304 341
, B08B 3/12
, B23H 9/00
