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J-GLOBAL ID：200903038588604759

ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

Inventor： 平野 孝 ,  番場 敏夫 ,  楠木 淳也
Applicant, Patent owner： 住友ベークライト株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999324405
Publication number (International publication number)：2001142209
Application date： Nov. 15, 1999
Publication date： May. 25, 2001
Summary：

【要約】【課題】 高解像度で高残膜率のパターンを得ることができ、かつ硬化後の皮膜特性として優れた機械特性、接着性、吸水性を有する高感度のポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】 一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部及び有機フィラー、無機フィラーまたは顔料から選ばれる(C)成分からなり、下記式で示される(C)成分の含有量Fが2〜70wt%であるポジ型感光性樹脂組成物である。F={(C)成分/(ポリアミド+(C)成分)}×100また、ポジ型感光性樹脂組成物にフェノール化合物(D)1〜30重量部を含むポジ型感光性樹脂組成物である。【化25】

Claim (excerpt)：

一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部及び有機フィラー、無機フィラーから少なくとも1種選ばれる(C)成分からなり、下記式で示される(C)成分の含有量Fが2〜70wt%であることを特徴とするポジ型感光性組成物。F={(C)成分/(ポリアミド+(C)成分)}×100(%)【化1】

IPC (12)：

G03F 7/037 ,  C08G 69/32 ,  C08G 69/42 ,  C08K 3/36 ,  C08K 5/13 ,  C08K 5/136 ,  C08L 77/06 ,  C08L 77/10 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027

FI (12)：

G03F 7/037 ,  C08G 69/32 ,  C08G 69/42 ,  C08K 3/36 ,  C08K 5/13 ,  C08K 5/136 ,  C08L 77/06 ,  C08L 77/10 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (104)：

2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BC70 ,  2H025BC86 ,  2H025BE01 ,  2H025CB26 ,  2H025CB33 ,  2H025CB45 ,  2H025CC08 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096BA10 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  4J001DA01 ,  4J001DB01 ,  4J001DB04 ,  4J001DC05 ,  4J001DC08 ,  4J001DC10 ,  4J001DC14 ,  4J001DC16 ,  4J001DC22 ,  4J001DC24 ,  4J001DD05 ,  4J001EB35 ,  4J001EB36 ,  4J001EB37 ,  4J001EB44 ,  4J001EB56 ,  4J001EB57 ,  4J001EB58 ,  4J001EB59 ,  4J001EB60 ,  4J001EC23 ,  4J001EC24 ,  4J001EC27 ,  4J001EC33 ,  4J001EC38 ,  4J001EC44 ,  4J001EC54 ,  4J001EC56 ,  4J001EC66 ,  4J001EC67 ,  4J001EC68 ,  4J001EC69 ,  4J001EC70 ,  4J001EE04E ,  4J001EE08E ,  4J001EE09E ,  4J001EE18E ,  4J001EE23A ,  4J001EE26E ,  4J001EE35E ,  4J001EE38A ,  4J001EE42E ,  4J001EE65A ,  4J001FB03 ,  4J001FC03 ,  4J001FC06 ,  4J001JA20 ,  4J001JB50 ,  4J002BD152 ,  4J002BG042 ,  4J002CC032 ,  4J002CC162 ,  4J002CC182 ,  4J002CD002 ,  4J002CF002 ,  4J002CL002 ,  4J002CL061 ,  4J002CL071 ,  4J002CM042 ,  4J002DE077 ,  4J002DE117 ,  4J002DE147 ,  4J002DE237 ,  4J002DG057 ,  4J002DJ007 ,  4J002DJ017 ,  4J002DJ037 ,  4J002DJ047 ,  4J002DJ057 ,  4J002EJ038 ,  4J002EJ058 ,  4J002EJ068 ,  4J002EQ036 ,  4J002FD012 ,  4J002FD017 ,  4J002FD090 ,  4J002FD200 ,  4J002FD206 ,  4J002FD208 ,  4J002GP03 ,  4J002HA05