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J-GLOBAL ID：200903038594521768

走査型プローブ顕微鏡の探針接近方法

Inventor： 森本 高史 ,  黒田 浩史 ,  美野本 泰
Applicant, Patent owner： 日立建機ファインテック株式会社
Agent (1)： 田宮 寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001178424
Publication number (International publication number)：2002372488
Application date： Jun. 13, 2001
Publication date： Dec. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡で、試料表面に向かって探針を接近させるとき、探針を短時間で接近させ、かつ探針と試料の衝突を確実に避け、探針等の破損を確実に防止する探針接近方法を提供する。【解決手段】 探針15、カンチレバー14、Z微動部13b、粗動機構部12、光てこ式光学変位検出装置21,22、第1制御部18aのZ方向制御部20、第2制御部18bを備える。この構成で探針を試料に接近させる方法であり、第1制御部によるサーボ系を非能動にしZ微動部を探針と試料が最も離れる位置に保持しかつ粗動機構部を動作させ探針と試料を接近させる第1ステップと、粗動機構部の動作を停止させ第1制御部によるサーボ系を能動にしてZ微動部を動作させ探針と試料を接近させる第2ステップと、第2ステップで第1制御部に基づく接近動作で停止目標位置に到達しないとき第1ステップと第2ステップを繰り返し、停止目標位置に到達したとき接近動作を停止する第3ステップとから成る。

Claim (excerpt)：

探針と、試料に対する前記探針の高さ位置を微小に変える第1移動要素と、前記試料に対して前記探針を接近させまたは退避させる第2移動要素と、前記探針と前記試料の表面との間で作用する物理量を検出する検出手段と、この検出手段から出力される検出値が目標値と一致するように前記第1移動要素を伸縮させ前記探針と前記試料との間の距離を調節する第1制御手段と、前記第2移動要素の動作を制御する第2制御手段とを備える走査型プローブ顕微鏡に適用され、前記試料から離れた位置にある前記探針を前記試料に接近させる探針接近方法であり、前記第1制御手段によるサーボ系を非能動にし、前記第1移動要素を前記探針と前記試料が最も離れる位置に保持し、かつ前記第2移動要素を動作させ、前記探針と前記試料を接近させる第1ステップと、前記第2移動要素の動作を停止させ、かつ前記第1制御手段によるサーボ系を能動にして前記第1移動要素を動作させ、前記探針と前記試料を接近させる第2ステップと、前記第2ステップで前記第1制御手段に基づく接近動作で停止目標位置に到達しないとき前記第1ステップと前記第2ステップを繰り返し、前記停止目標位置に到達したとき接近動作を停止する第3ステップと、から成ることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡の探針接近方法。

IPC (3)：

G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  G12B 21/08

FI (4)：

G01N 13/10 B ,  G01N 13/10 C ,  G01B 21/30 ,  G12B 1/00 601 D

F-Term (18)：

2F069AA60 ,  2F069DD01 ,  2F069DD15 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ15 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL03 ,  2F069MM24 ,  2F069MM32 ,  2F069MM34 ,  2F069MM38