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J-GLOBAL ID：200903038599639430

常温接合装置

Inventor： 平井 章三 ,  河合 幸博 ,  小岩 正己 ,  藤谷 泰之 ,  豊田 真彦
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 北西 務 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994277161
Publication number (International publication number)：1996118043
Application date： Oct. 18, 1994
Publication date： May. 14, 1996
Summary：

【要約】【目的】 センサ部品や微小機械の組み立て等、精密、高精度の接合に適用される常温接合装置に関するもので、被接合物の温度上昇や変形が許されない接合を常温で真空容器中で遠隔操作により行なうことを目的としている。【構成】 被接合物1を真空容器内に配置し、常温下でまず水平姿勢で水平方向からアルゴンイオンビームにより照射し、被接合物の接合面の不純原子を除去し清浄化したのち、被接合物1を垂直姿勢として垂直方向からプレスロッド15により押し付け加圧する。被接合物の回転は、モータ8よりの回転を歯車A9,歯車B10,歯車C31及びフレキシブルシャフト11を介してホルダーA2,ホルダーB16を回転することにより行なう。接合作業完了後は、プレスロッド15を上昇したのち真空容器を大気開放して被接合物をホルダーA2,ホルダーB16より外して取り出す。

Claim (excerpt)：

真空容器内において常温で金属又は非金属材料同士を接合する常温接合装置において、該装置が、被接合物を保持したホルダーの両端を支持して、水平軸中心に回転させる機構と、上記機構を、上下並列に配置し、相互の間隔を圧縮バネで保持する機構と、さらにこれらを鉛直方向に摺動させる機構と、上記各々の回転機構に独立して回転動力を伝達するフレキシブルシャフトと、上記フレキシブルシャフトを電動モータにより、複数歯車の構成で同時に回転させる駆動機構と、被接合物の接合面を水平方向から垂直方向に回転位置決めする際の位置検出のための光電スイッチと、接合の際、垂直方向に被接合物同士を押し当て加圧する油圧方式等のプレス機構と、さらに、被接合物の接合面にアルゴンイオンビームを照射して、清浄化処理する水平に配したイオン銃とを具備したことを特徴とする常温接合装置。

IPC (4)：

B23K 20/00 350 ,  B01J 19/08 ,  B23K 20/14 ,  C23F 4/00

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特開昭62-282788
  
• 特開平3-081077
  
• 特開昭63-101085