Pat
J-GLOBAL ID:200903038628909647
マイクロポンプ
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
深見 久郎 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000143124
Publication number (International publication number):2001322099
Application date: May. 16, 2000
Publication date: Nov. 20, 2001
Summary:
【要約】【課題】 簡単な構成で微少量の液体を正逆両方向に高精度に搬送すること。【解決手段】 マイクロポンプ100は、流路抵抗が差圧に応じて変化する第1流路115と、差圧の変化に対する流路抵抗の変化の割合が第1流路115よりも小さい第2流路117と、第1流路115および第2流路117に接続された加圧室109と、加圧室109の内部の圧力を変化させるための圧電素子107とを備える。加圧室109の内部の圧力を圧電素子107で変化させることにより、第1流路115の流路抵抗と第2流路117の流路抵抗との比を異ならせることができる。
Claim (excerpt):
流路抵抗が差圧に応じて変化する第1流路と、差圧の変化に対する流路抵抗の変化の割合が前記第1流路よりも小さい第2流路と、前記第1流路および前記第2流路に接続された加圧室と、前記加圧室の内部の圧力を変化させるためのアクチュエータとを備えた、マイクロポンプ。
IPC (4):
B81B 3/00
, F04B 9/00
, F04B 53/16
, F04B 43/04
FI (5):
B81B 3/00
, F04B 9/00 B
, F04B 43/04 B
, F04B 21/00 H
, F04B 21/00 K
F-Term (24):
3H071AA01
, 3H071BB01
, 3H071CC26
, 3H071CC33
, 3H071CC34
, 3H071CC47
, 3H071DD32
, 3H071DD35
, 3H071DD84
, 3H075AA01
, 3H075BB01
, 3H075CC08
, 3H075CC18
, 3H075CC34
, 3H075CC35
, 3H075DA11
, 3H075DB02
, 3H077AA01
, 3H077CC01
, 3H077CC09
, 3H077DD06
, 3H077EE40
, 3H077FF14
, 3H077FF36
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