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J-GLOBAL ID：200903038629374976

金属酸化物薄膜の製造方法

Inventor： 今井 宏明 ,  土岐 元幸 ,  山口 日出樹
Applicant, Patent owner： 株式会社関西新技術研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996291308
Publication number (International publication number)：1998087304
Application date： Sep. 12, 1996
Publication date： Apr. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ゾルゲル法による金属酸化物薄膜の作製において、低温で緻密化や結晶化が実現できるプロセスを提供する。【解決手段】 金属酸化物ゲル膜を47kPa以上1MPa以下の水蒸気雰囲気下で、60°C以上180°C以下の温度で熱処理することによって緻密化が行われる。金属酸化物ゲル膜は、加水分解性の金属化合物と水との反応によって作製され、一般式M(OR)nの金属アルコキシドを用いることができる。

Claim (excerpt)：

金属酸化物ゲル膜を水蒸気雰囲気下、47kPa以上1MPa以下の圧力、60°C以上180°C以下の温度で熱処理することを特徴とする金属酸化物薄膜の製造方法。

IPC (4)：

C01B 13/32 ,  B01J 19/00 ,  C01B 33/12 ,  C01G 23/04

FI (4)：

C01B 13/32 ,  B01J 19/00 F ,  C01B 33/12 C ,  C01G 23/04 C