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J-GLOBAL ID：200903038638454486

固体潤滑性を有する非晶質薄膜およびその製造方法

Inventor： 日置 辰視 ,  小栗 和幸
Applicant, Patent owner： 株式会社豊田中央研究所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991270380
Publication number (International publication number)：1993078844
Application date： Sep. 20, 1991
Publication date： Mar. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 低摩擦係数および固体潤滑性を有する非晶質薄膜およびその製造方法を提供する。【構成】 珪素(Si)と、酸素(O)、炭素(C)および水素(H)とからなる固体薄膜であって、該薄膜の組成が、Six (Om ,Cn ,H1-m-n )1-x で、かつ、x=0.03〜0.20、m=0.05〜0.5、n=0.1〜0.9、0.6≦m+n≦0.95であることを特徴とする固体潤滑性を有する非晶質薄膜およびその製造方法。

Claim (excerpt)：

珪素(Si)と、酸素(O)、炭素(C)および水素(H)とからなる固体薄膜であって、該薄膜の組成が、Six (Om ,Cn ,H1-m-n )1-x で、かつ、x=0.03〜0.20、m=0.05〜0.5、n=0.1〜0.9、0.6≦m+n≦0.95であることを特徴とする固体潤滑性を有する非晶質薄膜。

IPC (3)：

C23C 16/22 ,  C01B 33/12 ,  C23C 16/50