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J-GLOBAL ID：200903038644077341

走査形顕微鏡

Inventor： 戸所 秀男 ,  山田 理
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996145447
Publication number (International publication number)：1997330679
Application date： Jun. 07, 1996
Publication date： Dec. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明は荷電粒子または光を検査する試料上に走査することで走査像を得る走査形顕微鏡に関係し、特に照射強度を任意に設定することが出来るようにした走査形顕微鏡に関係する。【解決手段】観察あるいは記録する走査像を複数回(N回)の二次元走査で形成し、二次元走査単位で照射荷電粒子または光をブランキングし、N回のうちの複数回(<N)を間引くことにより、平均の照射強度を調整する。【効果】照射荷電粒子または光をブランキングのみで、照射強度が調整できることから照射系の軸調整を行う必要がない。この結果、容易にかつ任意に時点で照射強度を変更することが可能になり、観察試料に対応した最適の照射強度を選択することができ、これまで問題となった試料の温度上昇,絶縁物試料でのチャージアップ,コンタミネーションの問題が解決できた。

Claim (excerpt)：

荷電粒子または光を試料上に走査し、該荷電粒子または光の照射により試料から二次的に発生する荷電粒子または光を検知することで、該試料の形状または組成の走査像を得る走査形顕微鏡において、2回以上の二次元走査像を積算して走査像として表示する機能を備え、且つ前記荷電粒子または光を二次元走査単位で遮断する機能を備えたことを特徴とする走査形顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/22 502

FI (3)：

H01J 37/28 Z ,  H01J 37/147 B ,  H01J 37/22 502 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特公昭48-014382
  
• 特開昭63-218803
  
• 特開昭62-024545