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J-GLOBAL ID：200903038685313190

非晶質導電膜のパターニング方法

Inventor： 海上 暁 ,  大山 正嗣
Applicant, Patent owner： 出光興産株式会社
Agent (1)： 中村 静男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995020604
Publication number (International publication number)：1996217578
Application date： Feb. 08, 1995
Publication date： Aug. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 微細なパターンを形成することが容易な非晶質導電膜のパターニング方法を提供する。【構成】 本発明の非晶質導電膜のパターニング方法は、非晶質導電膜を、硼酸系溶液からなるエッチング液と接触させて選択的にエッチングすることによりパターニングすることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

非晶質導電膜を、硼酸系溶液からなるエッチング液と接触させて選択的にエッチングすることによりパターニングすることを特徴とする非晶質導電膜のパターニング方法。

IPC (6)：

C04B 41/91 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  H01B 13/00 503 ,  H01B 13/00 ,  G09F 9/30 339

FI (6)：

C04B 41/91 B ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/34 K ,  H01B 13/00 503 B ,  H01B 13/00 503 D ,  G09F 9/30 339 Z