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J-GLOBAL ID：200903038698626073

液晶パネル基板の検査装置及び検査方法

Inventor： 川隅 幸宏 ,  松井 淳一 ,  遠藤 政智 ,  石田 茂 ,  徳安 良紀
Applicant, Patent owner： 株式会社 日立インダストリイズ
Agent (1)： 秋本 正実
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001257235
Publication number (International publication number)：2003065962
Application date： Aug. 28, 2001
Publication date： Mar. 05, 2003
Summary：

【要約】【課題】 液晶の供給状態の良否を精度良く判定,計測することができる液晶パネル基板の検査装置及び検査方法を提供すること【解決手段】 液晶11が供給された基板10が載置された中空の基板テーブル3と,前記基板テーブル3の上方を、可動手段によって移動可能な撮像手段6と,前記基板テーブル3及び前記撮像手段6の制御を行う制御手段と,を備え、前記基板テーブル3にはバックライト9と偏光板21とが設けられると共に、前記撮像手段6には、撮像手段6のレンズ部8に偏光板20が設けられ、前記基板テーブル3の偏光板21と,前記撮像手段6の偏光板20とは、互いにクロスニコルになるように配置されている。

Claim (excerpt)：

液晶が供給された基板が載置された中空の基板テーブルと,前記基板テーブルの上方を、可動手段によって移動可能な撮像手段と,前記基板テーブル及び前記撮像手段の制御を行う制御手段と,を備え、前記基板テーブルにはバックライトと偏光板とが設けられると共に、前記撮像手段には、撮像手段のレンズ部に偏光板が設けられ、前記基板テーブルの偏光板と,前記撮像手段の偏光板とは、互いにクロスニコルになるように配置されていることを特徴とする液晶パネル基板の検査装置。

IPC (5)：

G01N 21/88 ,  G01M 11/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352 ,  G09F 9/35

FI (5)：

G01N 21/88 H ,  G01M 11/00 T ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 352 ,  G09F 9/35

F-Term (28)：

2G051AA73 ,  2G051AA88 ,  2G051AB02 ,  2G051BA11 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G086EE10 ,  2H088FA09 ,  2H088FA11 ,  2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA24 ,  2H088FA30 ,  2H088HA02 ,  2H088HA03 ,  2H088HA18 ,  2H088HA28 ,  2H088MA17 ,  2H088MA18 ,  5C094AA43 ,  5C094BA43 ,  5C094EB02 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435EE33 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-217817
  
• 特開昭62-036545
  
• 特開昭63-136086