Pat
J-GLOBAL ID:200903038715896055
観測装置、観測方法、ファラデー回転角測定方法、ファラデー楕円率測定方法、カー回転角測定方法及びカー楕円率測定方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
立石 琢也
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005229373
Publication number (International publication number):2007046943
Application date: Aug. 08, 2005
Publication date: Feb. 22, 2007
Summary:
【課題】 高速測定が可能な観測装置、観測方法等を提供する。【解決手段】 本発明の第1の側面は、液晶変調素子によって、右回り円偏光及び左回り円偏光が選択的に作り出されるように前記液晶変調素子が制御され、偏光子を通過する光によって試料を観測することを特徴とする観測装置にある。また、本発明の他の側面は、偏光子及び液晶変調素子を順に通過するように光の光路が設定された状態で、前記偏光子を通過する光によって試料を観測する際に、前記液晶変調素子によって、右回り円偏光及び左回り円偏光が選択的に作り出されるように前記液晶変調素子を制御する工程と、前記液晶変調素子によって作り出される右回り円偏光状態及び左回り円偏光状態に対応した、前記試料の光学データをそれぞれ生成する工程とを有することを特徴とする観測方法にある。【選択図】 図8
Claim (excerpt):
偏光子と、
液晶変調素子と
を備え、
前記偏光子及び前記液晶変調素子を順に通過するように光の光路が設定され、
前記液晶変調素子によって、右回り円偏光及び左回り円偏光が選択的に作り出されるように前記液晶変調素子が制御され、
前記偏光子を通過する光によって試料を観測することを特徴とする観測装置。
IPC (3):
G01N 21/21
, G01J 4/04
, G01N 21/19
FI (4):
G01N21/21 Z
, G01J4/04 D
, G01J4/04 Z
, G01N21/19
F-Term (18):
2G059AA02
, 2G059BB08
, 2G059DD13
, 2G059EE01
, 2G059EE05
, 2G059FF01
, 2G059GG01
, 2G059GG04
, 2G059GG10
, 2G059JJ02
, 2G059JJ11
, 2G059JJ18
, 2G059JJ19
, 2G059KK01
, 2G059KK02
, 2G059KK04
, 2G059MM09
, 2G059PP04
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (6)
-
複数の異なる試料の光学特性を一括して観察・測定する方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2003-087904
Applicant:ネオアーク株式会社
-
濃度測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-342989
Applicant:シチズン時計株式会社
-
特開昭57-053642
-
特開平3-246448
-
特開平2-242137
-
電圧制御液晶リターダーを用いるエリプソメーター
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-116038
Applicant:科学技術振興事業団
Show all
Article cited by the Patent:
Return to Previous Page