フッ化物単結晶の製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001316888
Publication number (International publication number)：2003119095
Application date： Oct. 15, 2001
Publication date： Apr. 23, 2003
Summary：

【要約】【課題】引き上げ法によるフッ化物単結晶の製造において、単結晶の育成の過程で部分的に生じる多結晶化の発生を低く抑え、より高純度の結晶体を製造すること。【解決手段】原料フッ化物の溶融液から、引き上げ法により単結晶を育成するフッ化物単結晶の製造方法において、該原料フッ化物の溶融液表面に浮遊する固体不純物を、チャンバー内に設けた除去部材により掬い取る等して除去することを特徴とするフッ化カルシウム等のフッ化物単結晶の製造方法。

Claim (excerpt)：

原料フッ化物の溶融液から、引き上げ法により単結晶を育成するフッ化物単結晶の製造方法において、該原料フッ化物の溶融液表面に浮遊する固体不純物を除去することを特徴とするフッ化物単結晶の製造方法。

IPC (2)：

C30B 29/12 , C30B 15/00

FI (2)：

C30B 29/12 , C30B 15/00 Z

F-Term (5)：

4G077AA02 , 4G077BE02 , 4G077CF10 , 4G077EH10 , 4G077HA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

特開平4-362086
特開昭56-092193
フッ化物バルク単結晶の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-167116 Applicant：東北大学長

Return to Previous Page