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J-GLOBAL ID：200903038770011488
カラーフィルタの製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993287016
Publication number (International publication number)：1995140316
Application date： Nov. 16, 1993
Publication date： Jun. 02, 1995
Summary：
【要約】【目的】安価なアクリル樹脂を用いて、エッチング法によりパターンを形成する方法を検討し、薄膜で光学濃度が高く、かつ解像力の高いBMを形成することを特徴とするによるカラーフィルタの製造方法を提供すること。【構成】基板上にアクリル酸又はメタクリル酸をモノマーとするアクリル系樹脂に分散剤、顔料、熱硬化性樹脂を含有してなる着色樹脂層を形成する工程、この上にポジレジスト層を形成する工程、ポジレジストのパターニングと着色樹脂層のエッチングをアルカリ性水溶液で行なう工程、ポジレジスト及び着色樹脂パターンを加熱焼成する工程、ポジレジストをアルカリ性水溶液で剥離する工程からなるブラックマトリクスの形成を特徴とする。
Claim (excerpt)：
(1)基板上にアクリル酸又はメタクリル酸をモノマーとするアクリル系樹脂に分散剤、顔料、熱硬化性樹脂を含有してなる着色樹脂層を形成する工程(2)この上にレジスト層を形成する工程(3)レジスト層のパターニングと着色樹脂層のエッチングをアルカリ現像液で行なう工程(4)レジスト層及び着色樹脂層を加熱焼成する工程(5)レジスト層をアルカリ剥離液で剥離する工程以上の工程からなるブラックマトリクスの形成を特徴とするカラーフィルタの製造方法。
Patent cited by the Patent：
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