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J-GLOBAL ID：200903038773891608
光学薄膜及びその製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
奈良 武
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993321324
Publication number (International publication number)：1995151906
Application date： Nov. 26, 1993
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：
【要約】【目的】 屈折率の低いフッ化アルミニウムの光学薄膜をスパッタリングにより安定して形成できる製造方法を提供する。【構成】 スパッタリングのターゲットとしてフッ化アルミニウムとフッ化物との混合物を用いる。
Claim (excerpt)：
スパッタリングのターゲットとしてフッ化アルミニウムとフッ化物との混合物を用いることを特徴とする光学薄膜の製造方法。
IPC (3)：
G02B 1/11
, B29D 11/00
, C23C 14/34
