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J-GLOBAL ID：200903038789450741

画像処理検査方法および画像処理検査装置

Inventor： 安川 実
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (3)： 西教 圭一郎 ,  杉山 毅至 ,  廣瀬 峰太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003195831
Publication number (International publication number)：2005031952
Application date： Jul. 11, 2003
Publication date： Feb. 03, 2005
Summary：

【課題】パターンマッチングを用いた画像処理検査において、画像処理検査に要する処理時間の短縮を図ることが可能な画像処理検査方法および画像処理検査装置を提供する。【解決手段】特に被検査画像15の濃淡勾配ベクトルの大きさ分布19に基づいて、パターンマッチングする座標範囲を決定する。換言すれば、被検査画像15のうちパターンマッチングする必要のある範囲すなわち検査すべき範囲を、パターンマッチングする前に予め絞り込む。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

検査対象物の入力画像を画像処理によって検査する方法であって、 入力画像の画素値の変化率の大きさを求める勾配算出工程と、 入力画像のうち、前記変化率の大きさに基づいてパターンマッチングする範囲を決定する範囲決定工程と、 入力画像のうち範囲決定工程で決定される範囲の画像と、予め定めるパターン画像とをパターンマッチングするパターンマッチング工程とを有することを特徴とする画像処理検査方法。

IPC (3)：

G06T1/00 ,  G06T7/00 ,  H01L21/66

FI (3)：

G06T1/00 305A ,  G06T7/00 300E ,  H01L21/66 J

F-Term (23)：

4M106AA20 ,  4M106BA04 ,  4M106CA38 ,  4M106DB02 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ21 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC32 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096FA14 ,  5L096GA02 ,  5L096HA07 ,  5L096JA03