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J-GLOBAL ID：200903038790291363

半導体式ガスセンサー

Inventor： 八島 勇 ,  北原 暢之 ,  能登谷 正之 ,  佐藤 博 ,  辰元 克充
Applicant, Patent owner： 三井鉱山株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991196829
Publication number (International publication number)：1993072163
Application date： Aug. 06, 1991
Publication date： Mar. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 従来検知困難であった半導体製造用原料ガス等を酸化性、還元性、腐食性雰囲気中で測定する。【構成】 基板2上にダイヤモンド半導体層3を積層し、電極4,5を取付ける。電極材料を選択することにより、検出ガスに対する感度に選択性を持たせる。

Claim (excerpt)：

半導体表面に電極を所定数形成してなる半導体式ガスセンサーにおいて、前記半導体がダイヤモンド半導体であることを特徴とする半導体式ガスセンサー。