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J-GLOBAL ID：200903038799733067

カラーフィルタの製造方法

Inventor： 瀬川 雄司
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995102651
Publication number (International publication number)：1996297206
Application date： Apr. 26, 1995
Publication date： Nov. 12, 1996
Summary：

【要約】【構成】 1色目となる黒のストライプパターン10形成時に同時に有効画面外に形成したアライメントマーク11を含むエリア12よりも、2色目以降のパターン形成に用いる顔料分散フォトレジスト13の塗布エリア14を小さくする。【効果】 アライメント精度を上げることができる。

Claim (excerpt)：

所定の色の液状塗布剤をガラス基板上に塗布した後、上記所定色のパターンを形成する処理を複数色分繰り返して複数色分のパターンを形成してカラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法において、上記複数色の内の1色目のパターンを形成する際に該パターンの有効画面外に形成されるアライメントマークを含むエリアよりも、2色目以降のパターン形成に用いる上記液状塗布剤の塗布エリアを小さくすることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

IPC (2)：

G02B 5/20 101 ,  G02B 5/22

FI (2)：

G02B 5/20 101 ,  G02B 5/22