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J-GLOBAL ID：200903038806787500

ガスセンサーの駆動方法及びそれを用いたガスの検知方法

Inventor： 国元 晃 ,  小野 敬 ,  大橋 聡
Applicant, Patent owner： 株式会社リケン
Agent (1)： 高石 橘馬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994030965
Publication number (International publication number)：1995218461
Application date： Feb. 01, 1994
Publication date： Aug. 18, 1995
Summary：

【要約】【目的】 湿度依存性を小さくするとともにガス選択性を向上させるガスセンサーの駆動方法を提供する。【構成】 金属酸化物半導体からなるセンサー素子と、その上に設けられた電極と、センサー素子を所定の温度に加熱保持するヒーターとを有するガスセンサーの電極に、目的とする被検ガスにより定まる周波数の交流電圧を印加し、もって目的とする被検ガスを選択的に検知する。

Claim (excerpt)：

ガス感度の湿度依存性を低くするガスセンサーの駆動方法であって、金属酸化物半導体からなるセンサー素子に正と負の電圧を交互に印加することを特徴とするガスセンサーの駆動方法。

IPC (2)：

G01N 27/12 ,  G01N 27/04