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J-GLOBAL ID：200903038824063535

レーザー計測器

Inventor： 栗 田 保
Applicant, Patent owner： スピードファム株式会社
Agent (1)： 林 宏 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992146630
Publication number (International publication number)：1993312526
Application date： May. 12, 1992
Publication date： Nov. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 被測定物の表面の位置を、該表面に付着した付着物の影響を受けることなく高精度に検出することができるレーザー計測器を提供すること。【構成】 被測定物12の表面にレーザービームを投射してその反射ビームから該被測定物の表面の位置を検出するセンサ10に、被測定物にエアを噴射して付着物を除去するためのブロー機構14を設け、該ブロー機構におけるエアブロー用ノズル40とレーザービームの投射及び反射ビームの受光を行うための導通孔27,28とを共通化することにより、エアの噴流内においてレーザービームの投受光を行うようにした。【効果】 被測定物の表面の付着物をブロー機構により除去しながら高精度の測定を行うことができる。しかも、エアの噴流内においてレーザービームの投受光を行うことにより、エアブローで周囲に飛散した付着物の影響を受けることがない。

Claim (excerpt)：

被測定物の表面にレーザービームを投射して反射ビームを受光することにより、被測定物の表面の位置に応じた信号を出力するセンサと、該センサからの位置信号を演算処理して被測定物の表面の位置を算出する演算器とからなるレーザー計測器において、前記センサが、被測定物にエアを噴射して付着物を除去するブロー機構を備え、該ブロー機構におけるエアブロー用ノズルとレーザービームの投射及び反射ビームの受光を行うための導通孔とを共通化することにより、エアの噴流内においてレーザービームの投受光を行う構成である、ことを特徴とするレーザー計測器。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭64-043708
  
• 特開昭61-209338