熱処理装置

Inventor：
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：金本哲男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994037889
Publication number (International publication number)：1995226382
Application date： Feb. 10, 1994
Publication date： Aug. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】熱処理装置に使用されるフィルタ装置自体から汚染ガスなどの汚染物が発生するのを防止して、熱処理装置内の空間の清浄度を保ち、被処理体の汚染を防止して歩留まりの向上を図る。【構成】第1送風装置41の第1フィルタ装置43によって清浄化された空気はケーシング26内で循環流Xを形成し、ウエハボート23に搭載された被処理体であるウエハW周囲のパーティクルなどをを吹き飛ばす。循環流Xは側面ダクト45、底部ダクト46を経由し、再び第1フィルタ装置43によって清浄化される。第1フィルタ装置43のろ材には、耐酸性、耐熱性に優れたPTFE(ポリ・テトラ・フルオロ・エチレン)が使用され、さらにプレフィルタとして有機汚染物を吸着除去する活性炭フィルタ47、48が底部ダクト46に配設されている。

Claim (excerpt)：

被処理体を加熱して所定の熱処理を施す熱処理用機器と、前記熱処理用機器を収納するケーシングと、このケーシング内に空気流を形成する送風手段と、前記空気流を始めとする装置の清浄環境を得るためのフィルタ装置とを有する熱処理装置において、前記フィルタ装置におけるろ材の材料に、PTFE(ポリ・テトラ・フルオロ・エチレン)を用いたことを特徴とする、熱処理装置。

IPC (6)：

H01L 21/205 , C23C 16/44 , F24F 7/06 , H01L 21/02 , H01L 21/22 501 , H01L 21/68

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

エアーフィルタ及びエアーフィルタ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-283616 Applicant：ニッタ株式会社

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