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J-GLOBAL ID：200903038835391305
スリットノズルを持つ塗布ヘッドの洗浄方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
今井 毅
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993303442
Publication number (International publication number)：1995132267
Application date： Nov. 09, 1993
Publication date： May. 23, 1995
Summary：
【要約】【目的】 エクストル-ジョン型塗布ヘッド等の如き“スリットノズルを有した塗布ヘッド”の内部を容易にかつ効率良く洗浄できる手段を確立する。【構成】 “スリットノズルから塗布液を吐出させつつ塗布を行う形式の塗布ヘッド1”の内部を洗浄するに際して、該塗布ヘッド1につながる塗布液供給管4から塗布ヘッド内へ洗浄液を供給すると共に、この塗布液供給管4を通過する洗浄液内に不活性ガスを吹き込み、これら洗浄液と不活性ガスとの混合液をスリットノズル6から排出させることによって塗布ヘッド内部を洗浄する。
Claim (excerpt)：
“スリットノズルから塗布液を吐出させつつ塗布を行う形式の塗布ヘッド”の内部を洗浄するに際して、該塗布ヘッドにつながる塗布液供給管から塗布ヘッド内へ洗浄液を供給すると共に、この塗布液供給管を通過する洗浄液内に不活性ガスを吹き込み、これら洗浄液と不活性ガスとの混合液をスリットノズルから排出させることを特徴とする、スリットノズルを有した塗布ヘッドの洗浄方法。
IPC (2)：
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