Pat
J-GLOBAL ID:200903038835902180
表面形状検出素子及び表面形状検出装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
佐野 静夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001370833
Publication number (International publication number):2003172602
Application date: Dec. 05, 2001
Publication date: Jun. 20, 2003
Summary:
【要約】【課題】 生産性の向上及び形成温度の低温化を図るとともに耐傷性及び耐汚染性に優れた表面形状検出素子及び表面形状検出装置を提供する。【解決手段】 検出電極3bと検出電極3bに接続されるアクティブ素子Tとをマトリクス状に配列したアクティブマトリクス基板3と、アクティブマトリクス基板3上に形成された絶縁層4とを備え、絶縁層4上に配された手指Fと検出電極3bとの間の静電容量に応じた信号を各アクティブ素子Tから出力して3次元形状を検出する静電容量方式の表面形状検出装置1において、絶縁層4がTa2O5等の無機材料を混入したフッ素系樹脂等の樹脂材料或いは無機材料を混入したシリコン系アルコキシド等のゲル膜から成る。
Claim (excerpt):
電極と前記電極に接続されるアクティブ素子とをマトリクス状に配列したアクティブマトリクス基板と、前記アクティブマトリクス基板上に形成された絶縁層とを備え、前記絶縁層上に配された被検査物と前記電極との間の静電容量に応じた信号を前記各アクティブ素子から出力する静電容量方式の表面形状検出素子において、前記絶縁層が無機材料を混入した樹脂から成ることを特徴とする表面形状検出素子。
IPC (3):
G01B 7/28
, A61B 5/117
, G06T 1/00 400
FI (3):
G01B 7/28 A
, G06T 1/00 400 G
, A61B 5/10 322
F-Term (23):
2F063AA43
, 2F063BA29
, 2F063BD05
, 2F063CA30
, 2F063CA31
, 2F063CA34
, 2F063DA02
, 2F063DA05
, 2F063DB05
, 2F063DD07
, 2F063HA10
, 2F063HA18
, 2F063NA06
, 4C038FF01
, 4C038FG00
, 5B047AA25
, 5B047AB02
, 5B047BA02
, 5B047BB04
, 5B047BC01
, 5B047BC14
, 5B047CB22
, 5B047DC09
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (1)
Return to Previous Page