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J-GLOBAL ID：200903038842655857

静電チヤツク装置

Inventor： 野田 和夫
Applicant, Patent owner： 日本特殊陶業株式会社 ,  日本真空技術株式会社
Agent (1)： 石黒 健二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991164231
Publication number (International publication number)：1993013557
Application date： Jul. 04, 1991
Publication date： Jan. 22, 1993
Summary：

【要約】【目的】 チャック電極板への給電性に優れるとともに、セラミック板の表面層の破損の防止を図った静電チャック装置の提供。【構成】 裏面に凹部11、12を形成し表面がチャック面13とされるアルミナ板1と、アルミナ板1内に埋設されるチャック電極板2、3と、凹部11,12の底で露出する様にアルミナ板1内に埋設される受電用電極板4、5と、チャック電極板2、3と受電用電極板4、5とを電気接続する連絡部6、7とを備え、高電圧発生装置に電気接続した給電用電極8、9を受電用電極板4、5の露出面41、51に押圧させてなる。

Claim (excerpt)：

裏面に一対の凹部を形成し、表面がチャック面とされる電気絶縁性のセラミック板と、該セラミック板内に、前記チャック面と微少な間隔を隔てて埋設される一対のチャック電極板と、一部が前記凹部の底で露出する様に、前記セラミック板内に埋設される一対の受電用電極板と、前記チャック電極板と受電用電極板とを電気接続する連絡部とを備え、高電圧発生装置に電気接続した棒状の給電用電極を、前記凹部の底の受電用電極板の露出面に押圧させてなる静電チャック装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/06 ,  H02N 13/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭62-264638
  
• 特開昭63-134145