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J-GLOBAL ID：200903038842812278
荷電粒子線の照射装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994098919
Publication number (International publication number)：1995307136
Application date： May. 12, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：
【要約】【目的】 非点収差を精度良く補正できる荷電粒子線の照射装置を提供する。【構成】 XY方式の電磁非点収差補正器6を備えた電子線の照射装置において、非点収差補正器6に与える励磁電流を二次元に変化させつつ、試料4上で第1の方向のビーム径に対応する値を検出し、試料4で第1の方向と直交する方向に焦線を生じさせる補正値(Ix0x,Iy0x)を求める。また、非点収差補正器6に与える励磁電流を二次元に変化させつつ、試料4上で第1の方向とほぼ直交する第2の方向のビーム径に対応する値を検出し、試料4で第2の方向と直交する方向に焦線を生じさせる補正値(Ix0y,Iy0y)を求める。これらの補正値の平均値に補正値を設定する。
Claim (excerpt)：
荷電粒子線の非点収差を補正する非点収差補正器を備えた荷電粒子線の照射装置において、前記非点収差補正器に与える補正値を二次元に変化させつつ、荷電粒子線の光軸とほぼ直交する平面上で互いにほぼ直交する第1の方向および第2の方向のビーム径に対応する値を検出するビーム径検出手段と、検出された第1の方向および第2の方向のビーム径に対応する値に基づいて、前記平面上で前記荷電粒子線が前記第1および第2の方向の焦線となる前記非点収差補正器の一対の二次元の補正値を検出する補正値検出手段と、を具備することを特徴とする荷電粒子線の照射装置。
IPC (4)：
H01J 37/153
, H01J 37/04
, H01J 37/21
, H01L 21/027
