Pat
J-GLOBAL ID：200903038856450743

液晶表示装置およびその製造方法

Inventor：
岩永 利彦

About 岩永 利彦


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995283130
Publication number (International publication number)：1997127497
Application date： Oct. 31, 1995
Publication date： May. 16, 1997
Summary：
【要約】【課題】 駆動基板にブラックマトリクスが形成された場合の層間ショート不良および液晶プロジェクタ用として使用された場合の光リークの影響を回避する液晶表示装置およびその製造方法を提供することにある。【解決手段】 本発明の液晶表示装置は、洗浄したガラス基板4上に、スパッタ等により、本発明のブラックマトリクス25をTi、Cr、W、Ta、Mo、Pbおよびこれらの合金等で200nmの膜厚にてデポジションして形成する。その後、CVD等を用いて5wt%のリン濃度の燐シリケートガラスPSG等の層間絶縁膜16を全面的に1μm堆積し、900°Cで約1時間のアニールを加える。以下、層間絶縁膜16上に常法にてTFT5や保持容量6を形成する。従って、ブラックマトリクスによる層間ショート等を減少することができる。
Claim (excerpt)：
透明基板上にマトリクス状に配置された画素電極と、前記画素電極を駆動する駆動手段とを具備した駆動基板を有する液晶表示装置において、前記透明基板上の前記駆動手段の形成領域下部に接して、前記駆動手段の形成領域相当部にブラックマトリクスを形成するとともに、該ブラックマトリクス上に接して層間絶縁膜を形成し、該層間絶縁膜上に前記駆動手段を形成することを特徴とする液晶表示装置。
IPC (4)：
G02F 1/1335 500 ,  G02B 5/00 ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/136 500
FI (4)：
G02F 1/1335 500 ,  G02B 5/00 B ,  G02F 1/1333 505 ,  G02F 1/136 500
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM