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J-GLOBAL ID：200903038861779079

クランプ機構

Inventor： 岸 昭洋
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992125887
Publication number (International publication number)：1993326676
Application date： May. 19, 1992
Publication date： Dec. 10, 1993
Summary：

【要約】【目的】 種々の寸法のウエーハをクランプするのに用いるクランプ機構の改良に関し、ウエーハの寸法が大きな場合でも小さな場合でも、常に同じ力でクランプすることが可能なクランプ機構の提供を目的とする。【構成】 基板1に設けたブロック2の間に設けたガイド棒3と、このガイド棒3と嵌合し、圧縮ばね4によりこのガイド棒3に沿ってスライド可能なスライドブロック5と、このスライドブロック5をこの圧縮ばね4に抗してこのガイド棒3に沿ってスライドさせるこの基板1に設けたエアシリンダ6と、このスライドブロック5とピン7により結合されている回転ブロック8と、この回転ブロック8の一端に設けられており、ウエーハ12をクランプするクランパー9と、この回転ブロック8の係止部8aと係合する係止部11a を備えたストップレール11とを具備するように構成する。

Claim (excerpt)：

スライドブロック(5)をスライドさせるスライド手段(6)と、前記スライドブロック(5) と、ピン(7) により回転可能に結合されている回転ブロック(8) と、該回転ブロック(8) の一端に設けられ、ウエーハ(12)をクランプするクランパー(9) と、前記回転ブロック(8) の他端に設けられた係止部(8a)と、該クランプ時に該係止部(8a)と係合する係止部(11a) を備えたストップレール(11)と、を具備することを特徴とするクランプ機構。