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J-GLOBAL ID：200903038868125430
光学部品用の有機系被膜形成性物質を含浸固化している多孔質セラミックス焼結体を用いる光学部品の真空蒸着方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
須藤 阿佐子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996199872
Publication number (International publication number)：1997013167
Application date： Jul. 09, 1990
Publication date： Jan. 14, 1997
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 無機物系蒸着物質で真空蒸着処理をした後、その真空蒸着装置の中で引き続き光学部品用の有機被膜形成性物質を含浸固化している多孔質セラミックス焼結体を用いて溶媒を全く使用することなく光学部品上に有機保護被膜を形成する光学部品の真空蒸着方法。【解決手段】 光学部品用の有機系被膜形成性物質を含浸固化している多孔質セラミックス焼結体を用いて光学部品上に有機保護被膜を形成する、光学部品の蒸着方法。
Claim (excerpt)：
光学部品用の有機系被膜形成性物質を含浸固化している多孔質セラミックス焼結体を用いて光学部品上に有機保護被膜を形成することを特徴とする光学部品の真空蒸着方法。
IPC (2)：
FI (2)：
C23C 14/24 D
, C23C 14/06 P
