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J-GLOBAL ID：200903038884103900

直流放電灯および該放電灯を用いた半導体露光装置並びに映写装置

Inventor： 岩藤 泰博
Applicant, Patent owner： 東芝ライテック株式会社
Agent (1)： 波多野 久 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994025516
Publication number (International publication number)：1995235281
Application date： Feb. 23, 1994
Publication date： Sep. 05, 1995
Summary：

【要約】【目的】長期間に亘り光出力の低下が少なく、光学系と組み合わされて使用された場合にも集光効率の低下を防止する。【構成】石英ガラス製バルブ10の発光空間内に陽極11と陰極12を対向して配置し、陽極11は胴部11aと、この胴部11aから先端方向に連続するテーパ部11bと、このテーパ部11bの先端に形成した曲面部11cとを有し、ランプ電流IL (A)、電極間距離L(mm)、陽極の胴部11a外径D(mm)、曲面部11cの曲率半径R(mm)としたとき、【数1】0.25≦4・IL /πD2 ≦0.45【数2】0.5R≦D/L≦1.8Rの関係を満足させる。

Claim (excerpt)：

石英ガラス製バルブの発光空間内に陽極と陰極を対向して配置した直流放電灯において、上記陽極は胴部と、この胴部から先端方向に連続するテーパ部と、このテーパ部の先端に形成した曲面部とを有し、ランプ電流IL(A)、電極間距離L(mm)、上記陽極の胴部外径D(mm)、上記曲面部の曲率半径R(mm)としたとき、【数1】0.25≦4・IL /πD2 ≦0.45【数2】0.5R≦D/L≦1.8Rの関係を満足することを特徴とする直流放電灯。

IPC (4)：

H01J 61/073 ,  G03B 21/14 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 61/86