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J-GLOBAL ID：200903038908821990

シリンダキャビネット

Inventor： 武島 豊
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立超エル・エス・アイ・エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994003845
Publication number (International publication number)：1995211604
Application date： Jan. 19, 1994
Publication date： Aug. 11, 1995
Summary：

【要約】【目的】 危険性ガスのパージラインへの逆流を確実に検知して、安全性を向上させることが可能なシリンダキャビネットを提供する。【構成】 高圧ガス容器10(20)にシリンダ元弁MV1(MV2)を介して接続されるガスラインL1(L2)には、パージ元弁AV4,逆止弁C0,圧力スイッチPS0を備えるとともに、ベント排気弁AV0を介してベントラインVLに接続されたパージライン本管PL0から分岐したパージラインPL1(PL2)が接続され、パージラインPL1(PL2)には、パージライン遮断弁AV1(AV2),逆止弁C1(C2),フローチェッカFS1(FS2)が設けられ、圧力スイッチPS0またはフローチェッカFS1,FS2を監視して、ガスラインL1(L2)からパージラインPL1(PL2)の側へのプロセスガスの逆流を検知するシリンダキャビネットである。

Claim (excerpt)：

ガス源と、このガス源からガス消費部へと所望の特定ガスを供給するガスラインと、このガスラインに接続され、所望のパージガスを前記ガスラインに強制的に流入させることによって当該ガスラインのパージ操作を行うパージラインとを備えたシリンダキャビネットであって、前記ガスラインから前記パージラインへの前記特定ガスの逆流を監視する監視手段と、この監視手段による前記逆流の検知時に、警報を発する第1の操作および前記ガスラインと前記パージラインとを遮断する第2の操作の少なくとも一方を実行する制御論理とを備えたことを特徴とするシリンダキャビネット。