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J-GLOBAL ID：200903038938973566

電子光学系アレイとこの作製方法、荷電粒子線露光装置ならびにデバイス製造方法

Inventor： 島田 康弘 ,  小野 治人
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 西山 恵三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000097126
Publication number (International publication number)：2001283755
Application date： Mar. 31, 2000
Publication date： Oct. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】 小型化、高精度化、信頼性といった各種条件を高いレベルで実現した電子光学系アレイの提供。【解決手段】 それぞれが、複数の開口が形成されたメンブレンと該メンブレンを支持する支持基板を備えた上電極、シールド電極、中間電極、シールド電極、および下電極が順に積層され、前記メンブレン同士が空間絶縁された構造を有し、前記各電極それぞれの支持基板同士が直接接合されている。接合は絶縁膜を介した直接接合である。

Claim (excerpt)：

それぞれが、開口が形成されたメンブレンと該メンブレンを支持する支持基板を備えた第1電極および第2電極が積層され、前記メンブレン同士が空間絶縁された構造を有し、前記第1電極と第2電極のそれぞれの支持基板同士が直接接合されていることを特徴とする電子光学系アレイ。

IPC (4)：

H01J 37/04 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/12 ,  H01L 21/027

FI (5)：

H01J 37/04 Z ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/12 ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 541 A

F-Term (13)：

2H097CA16 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5C030BB01 ,  5C030BB11 ,  5C030BB12 ,  5C033CC01 ,  5F046AA28 ,  5F056AA33 ,  5F056EA03 ,  5F056EA04 ,  5F056EA05 ,  5F056EA06