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J-GLOBAL ID：200903038946806873
パターン検査方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青木 朗 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991323480
Publication number (International publication number)：1993157535
Application date： Dec. 07, 1991
Publication date： Jun. 22, 1993
Summary：
【要約】【目的】 本発明はパターン検査方法に関し、スルーホールの孔と、ランドの両方を検査することによって欠陥検出の信頼性を向上したパターン検査方法を実現することを目的とする。【構成】 プリント板のパターンのランドに対するスルーホールの位置ずれを検査する検査方法であって、撮像装置により被検査ランド11を撮像し、その画像のスルーホール部分に円周出し用基準パターン13を重ね、その重なり部分の画像をAND回路14により抽出し、その抽出された画像の内周の長さを計測して良否を判定するように構成する。
Claim (excerpt)：
プリント板のパターンのランドに対するスルーホールの位置ずれによる欠陥を検査する検査方法であって、撮像装置により被検査ランド(11)を撮像し、その画像のスルーホール(12)部分に円周出し用基準パターン(13)を重ね、その重なり部分の画像をAND回路(14)により抽出し、その抽出された画像の内周の長さを計測して良否を判定することを特徴とするパターン検査方法。
IPC (2)：
G01B 11/24
, G06F 15/62 405
