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J-GLOBAL ID：200903038991600321
画像形成用露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
磯野 道造
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991206872
Publication number (International publication number)：1993045887
Application date： Aug. 19, 1991
Publication date： Feb. 26, 1993
Summary：
【要約】【目的】基板の表面およびスルーホールの内壁面に施した電着性フォトレジストに適正な光化学反応を起こさせて、画像形成作業の能率向上を図る。【構成】スルーホール41を有する画像形成用基板31の上方および下方に且つ基板31に対して平行に離間配置した上下の平面反射鏡32a,32bと、前記基板31と上下の平面反射鏡32a,32bとの間に配置した上下の紫外線照射装置33、34とを備え、前記紫外線照射装置33、34は、前記基板31の一辺に対して平行に延びる放電灯33a,34aと、この放電灯33a,34aの背面に設けた反射鏡33b,34bとを有しており、前記各平面反射鏡に32a,32b対して各紫外線照射装置33,34を一定角度で傾斜させ、前記放電灯33a,34aの横方向に往復移動可能に構成すると共に、各移動端において前記紫外線照射装置33、34の照射方向を反転可能に構成した。
Claim (excerpt)：
画像形成用フィルムを介して基板に紫外線を照射し、前記基板の表面およびスルーホールの内壁に施した電着用フォトレジストに光化学反応を起こさせて基板の表面に画像を形成させる露光装置において、方形をした基板の上方および下方に且つこの基板に対して平行に離隔配置した上下の平面反射鏡と、前記基板と上下の平面反射鏡との間に配置した上下の紫外線照射装置とを備え、前記紫外線照射装置は前記基板の一辺に対して平行に延びる放電灯と、この放電灯の背面側に設けた反射鏡とを有しており、前記各平面反射鏡に対して各紫外線照射装置を一定角度で傾斜させ、前記放電灯の横方向に往復移動可能に構成すると共に、各移動端において前記紫外線照射装置の照射方向を反転可能に構成したことを特徴とする画像形成用露光装置。
IPC (3)：
G03F 7/20
, G03B 27/32
, H05K 3/00
